激光摻雜的分類有不同的標難

 激光摻雜的分類有不同的標難。激光打標機按所用激光的波長成分來分，激光摻雜分為(wei) 單波長法相雙波長法。單波長法使用單波長的激光束作激光摻雜．它以光熱分解或光化學分解的方式使源物質分解產(chan) 生雜質原子，同時又對襯底定域加熱．使雜質原子得以摻入。雙波長法是同時使用兩(liang) 束不同波長的激光實現激光化學摻雜。較短波長的激光常以化學分解的方式性源物質分解產(chan) 生雜質原子，其強度決(jue) 定摻入襯底的雜質濃度；波長較長的激光起加熱襯底表麵的作用，以控製摻雜範圍。雙波長法可以用兩(liang) 束激光分別控製摻雜濃度和摻雜範圍，單波長法沒有色差、對準等問題．光路調整方便。
按摻雜所用雜質源來分，激光接雜可以分力氣相激光摻雜利固態雜質源激光摻雜。氣相激光接雜所用的源物質部是氣態物質，通常是由吸階在襯底表麵或碰撞在襯底表麵的源氣體(ti) 分子發生光熱分解產(chan) 生雜質原子。固態雜質源激光摻雜通常是使用源物質的溶液在襯底農(nong) 麵製備固態摻雜膜，摻雜膜作為(wei) 擴散源．在激光束照射時以光化學分解或光熱分解的方式分解產(chan) 生雜質原子。氣相激光摻雜的應用範圍廣，但設備複雜、工藝要求高，源材料的貯存、運輸、使用由相對困難一些。固態雜質源的激光摻雜對工藝條件要求較低．所需設備簡單，源材料的貯運也方便，激光打標機但適於(yu) 作激光摻雜的源材料不像氣相源材料那麽(me) 多，因而使用範圍有限。

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