精密加工中紫外激光器的用途不小

   移動設備例如智能手機和平板電腦正在以迅猛的速度增長。由於(yu) 移動設備變得越來越小，速度越來越快，重量越來越輕，價(jia) 格越來越便宜，同時也越來越多功 能，並且更複雜，因而零部件的製造也向小型化和精密化發展。對於(yu) 一些關(guan) 鍵的零部件，如半導體(ti) 芯片、微電子封裝、觸摸顯示屏和印刷電路板（PCBs），它們(men) 將繼續麵臨(lin) 挑戰，例如提高良品率和生產(chan) 率，同時還要降低成本。這推動了激光在移動設備製造中的廣泛應用。由於(yu) 設備日益複雜，因而需要更多和更複雜的製造工 藝，同時對激光光源的研究進展也提出了更高要求。塑料專(zhuan) 用紫外激光打標機
用波長和脈衝(chong) 寬度更短以及低的M2（光束質量）的激光器能 創造一個(ge) 聚焦更集中的光斑，並能保持最小的熱影響區（HAZ），從(cong) 而實現更精密的微加工。高的能量吸收，尤其是在紫外（UV）波長和短脈衝(chong) 範圍，材料將被 迅速汽化，從(cong) 而減少熱影響區和炭化。較小的聚焦光斑可以實現精度較高、尺寸較小的加工。高功率、高脈衝(chong) 重複頻率（PRF）、脈衝(chong) 整形和脈衝(chong) 分裂都可以為(wei) 提 高微加工的生產(chan) 率做出貢獻。持續的較高的脈衝(chong) 穩定性能確保過程的可重複性，幫助實現更高的良品率。紫外激光打標機獨到的特點？
傳(chuan) 統的紫外Q開關(guan) 二 極管泵浦固體(ti) （DPSS）激光器能合理地滿足精密製造的要求，但是它們(men) 在實現更高的加工速度和較高的微加工質量方麵還有所欠缺。提高加工速度的常用方法是 在保持其他工藝參數不變的同時提高激光的脈衝(chong) 重複頻率。然而，對於(yu) 典型的Q開關(guan) DPSS激光器來說，這是不可能實現的。這些激光器的平均功率和脈衝(chong) 能量會(hui) 隨著脈衝(chong) 重複頻率的增加而迅速下降。此外，在脈衝(chong) 重複頻率較高時，激光脈衝(chong) 寬度和脈衝(chong) 能量波動往往會(hui) 大幅增加。
本文將高脈衝(chong) 重複頻率 下，高功率和獨立可調的紫外激光脈衝(chong) 寬度以及先進的脈衝(chong) 調控技術結合起來，並將其應用於(yu) 各種微電子材料的微加工中，包括矽（在芯片製造中的應用）、氧化鋁 （在微電子封裝製造中的應用）、玻璃（觸摸顯示屏製造中的應用）和銅（印刷電路板和微電子封裝製造中的應用）。

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