光刻機是個什麽玩意?

我們都知道華為的芯片大多由台積電代工,但是台積電的芯片生產機器——光刻機——產權和美國有著莫大的關係,即是說台積電很有可能迫於美國的壓力斷供華為芯片,而華為來自日本的芯片也極可能與美國有所關聯。

有人就問了,光刻機是個什麽玩意?為什麽它這麽重要我們不能自己造?
《中科院之聲》一篇文章曾如此介紹光刻機:後工業時代包括現在的工業3.0、工業4.0,都以芯片為基礎,光刻機作為製造芯片的工具,就相當於工業時代的機床,前工業時代的人手。
據了解,自集成電路誕生之後,單個芯片上集成的元件數量不斷增多,隨著技術的進步,成千上萬的元器件和導線經過一係列工藝被“雕刻”在矽片上,完成這些“雕刻”步驟的工具就是半導體設備,其中最重要的就是光刻機。
光刻機是芯片製造的核心設備,在加工芯片的過程中,光刻機通過一係列的光源能量以及形狀控製手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖層比例縮小後映射到矽片上,然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片上的電路圖。簡單地說就是在極小的晶圓上畫電路,刻畫的電路越多,計算能力就越強,現代芯片性能的不斷提升,根源就在於芯片光刻技術的不斷進步。現在最先進的EUV光刻機的“雕刻精度”已達7nm,精度相當於一根頭發的萬分之一。要達到這樣的雕刻精度,在雕刻的過程中,晶圓需要被快速移動,每次移動10厘米,但誤差必須被控製在納米級別。為了達到這種精度效果,目前世界上最先進的光刻機上有超過10萬個零件,要知道,汽車上的零部件也不過5000個。光刻機被譽為“世界半導體工業皇冠上的明珠,是當今人類現代工業文明和智慧的結晶”絲毫不為過。
荷蘭的ASML是當今世界光刻機市場上的絕對霸主,市占率超過70%。Canon和Nikon的市場份額還不斷被擠壓,尤其是在主流的邏輯芯片加工領域,Canon和Nikon完全無力和ASML競爭,7nm以下製程的光刻機隻有ASML能製造。
光刻機是個什麽玩意?
真正奠定ASML霸主地位的是13.5nm波長EUV(極紫外光)光刻機的研發,由於其技術難度高,可謂是歐洲和美國的最先進技術的集大成者,2019年,全球數家巨頭合資曆時20年研發的EUV光刻機終於應用於產線,它的誕生將大幅縮減 7nm和5nm製程的工藝步驟。每台售價超過1億美元。
光刻機製造難度之大,研發耗時、耗資之巨,可想而知。最令人望而興歎的是,在製造光刻機這件事上,不存在彎道超車的可能。


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