​紫外激光剝離的基本原理

紫外激光剝離的基本原理是利用外延層材料與(yu) 藍寶石材料對於(yu) 紫外激光具有不同的吸收效率。藍寶石具有較高的帶隙能量（9.9 eV），所以藍寶石對於(yu) 248nm的氟化氪（KrF）準分子激光（5 eV輻射能量）是透明的，而氮化镓（約3.3 eV的帶隙能量）則會(hui) 強烈吸收248nm激光的能量。正如圖3所示，激光穿過藍寶石到達氮化镓緩衝(chong) 層，在氮化镓與(yu) 藍寶石的接觸麵進行激光剝離。這將產(chan) 生一個(ge) 局部的爆炸衝(chong) 擊波，使得在該處的氮化镓與(yu) 藍寶石分離。基於(yu) 同樣的原理，193nm的氟化氬（ArF）準分子激光可以用於(yu) 分離氮化鋁（AlN）與(yu) 藍寶石。具有6.3 eV帶隙能量的氮化鋁可以吸收6.4 eV的ArF激光輻射，而9.9 eV帶隙能量的藍寶石對於(yu) ArF準分子激光則是透明的。 
　　光束均勻性和晶圓製備對於(yu) 實現成功剝離都很重要。JPSA公司采用創新的光束均勻化專(zhuan) 利技術使得準分子激光束在晶圓上可以產(chan) 生最大麵積達5 × 5毫米的均勻能量密度分布的平頂光束。
　　正確的晶圓製備是LLO成功的關(guan) 鍵。需要最大限度地減少在藍寶石上高溫外延層生長過程中產(chan) 生的殘餘(yu) 應力，還要保證外延層和襯底進行充分鍵合，以避免在剝離過程中外延片破裂。圖4展示了一個(ge) 典型的剝離效果。

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